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產品型號：
更新時間：2025-04-14簡要描述：TH510系列半導體C-V特性分析儀是常州同惠電子根據當前半導體功率器件發展趨勢，針對半導體材料及功率器件設計的分析儀器。儀器采用了一體化集成設計，二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導體功率器件寄生電容、CV特性可一鍵測試，無需頻繁切換接線及設置參數，單管功率器件及模組功率器件均可一鍵快速測試，適用于生產線快速測試、自動化集成。CV曲線掃描分析能力亦能滿足實驗室對半導體材料及功率器件的
產品型號 | TH511 | TH512 | TH513 | |
通道數 | 2（可選配4/6通道） | 1 | ||
顯示 | 顯示器 | 10.1英寸(對角線)電容觸摸屏 | ||
比例 | 16:9 | |||
分辨率 | 1280×RGB×800 | |||
測量參數 | CISS、COSS、CRSS、Rg，四參數任意選擇 | |||
測試頻率 | 范圍 | 1kHz-2MHz | ||
精度 | 0.01% | |||
分辨率 | 10mHz | 1.00000kHz-9.99999kHz | ||
100mHz | 10.0000kHz-99.9999kHz | |||
1Hz | 100.000kHz-999.999kHz | |||
10Hz | 1.00000MHz-2.00000MHz | |||
測試電平 | 電壓范圍 | 5mVrms-2Vrms | ||
準確度 | ±（10%×設定值+2mV） | |||
分辨率 | 1mVrms | 0.5Vrms-1Vrms | ||
10mVrms | 1Vrms-2Vrms | |||
VGS電壓 | 范圍 | 0 - ±40V | ||
準確度 | 1%×設定電壓+8mV | |||
分辨率 | 1mV | 0V - ±10V | ||
10mV | ±10V - ±40V | |||
VDS電壓 | 范圍 | 0 - ±200V | 0 - ±1500V | 0 - ±3000V |
準確度 | 1%×設定電壓+100mV | |||
輸出阻抗 | 100Ω，±2%@1kHz | |||
數學運算 | 與標稱值的絕對偏差Δ，與標稱值的百分比偏差Δ% | |||
校準功能 | 開路OPEN、短路SHORT、負載LOAD、夾具校準 | |||
測量平均 | 1-255次 | |||
AD轉換時間（ms/次） | 快速+：2.5ms(＞5kHz) 快速：11ms, 中速：90ms 慢速：220ms | |||
最高準確度 | 0.5%（具體參考說明書） | |||
CISS、COSS、CRSS | 0.00001pF - 9.99999F | |||
Rg | 0.001mΩ - 99.9999MΩ | |||
Δ% | ±（0.000% - 999.9%） | |||
多功能參數列表掃描 | 點數 | 50點，每個點可設置平均數，每個點可單獨分選 | ||
參數 | 測試頻率、Vg、Vd、通道 | |||
觸發模式 | 順序SEQ：當一次觸發后，在所有掃描點測量，/EOM/INDEX只輸出一次 | |||
步進STEP：每次觸發執行一個掃描點測量，每點均輸出/EOM/INDEX，但列表掃描比較器結果只在最后的/EOM才輸出 | ||||
圖形掃描 | 掃描點數 | 任意點可選，最多1001點 | ||
結果顯示 | 同一參數、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數多條曲線 | |||
顯示范圍 | 實時自動、鎖定 | |||
坐標標尺 | 對數、線性 | |||
掃描參數 | Vg、Vd | |||
觸發方式 | 手動觸發一次，從起點到終點一次掃描完成，下個觸發信號啟動新一次掃描 | |||
結果保存 | 圖形、文件 | |||
比較器 | Bin分檔 | 10Bin、PASS、FAIL | ||
Bin偏差設置 | 偏差值、百分偏差值、關 | |||
Bin模式 | 容差 | |||
Bin計數 | 0-99999 | |||
檔判別 | 每檔最多可設置四個參數極限范圍，四個測試參數結果設檔范圍內顯示對應檔號，超出設定最大檔號范圍則顯示FAIL，未設置上下限的測試參數自動忽略檔判別 | |||
PASS/FAIL指示 | 滿足Bin1-10,前面板PASS燈亮，否則FAIL燈亮 | |||
存儲調用 | 內部 | 約100M非易失存儲器測試設定文件 | ||
外置USB | 測試設定文件、截屏圖形、記錄文件 | |||
鍵盤鎖定 | 可鎖定前面板按鍵，其他功能待擴充 | |||
接口 | USB HOST | 2個USB HOST接口，可同時接鼠標、鍵盤，U盤同時只能使用一個 | ||
USB DEVICE | 通用串行總線插座，小型B類（4個接觸位置）；與USB TMC-USB488和USB2.0相符合，陰接頭用于連接外部控制器。 | |||
LAN | 10/100M以太網，8引腳，兩種速度選擇 | |||
HANDLER | 用于Bin分檔信號輸出 | |||
RS232C | 標準9針，交叉 | |||
RS485 | 標準差分線 | |||
GPIB | 24針D-Sub端口（D-24 類），陰接頭與IEEE488.1、2和SCPI兼容 | |||
開機預熱時間 | 60分鐘 | |||
輸入電壓 | 100-120VAC/198-242VAC可選擇，47-63Hz | |||
功耗 | 不小于130VA | |||
尺寸（WxHxD）mm | 430x177x405 | |||
重量 | 16kg | |||
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